GIGAPHOTON-准分子激光器-GT4

产品名称： GIGAPHOTON-准分子激光器-GT4

产品型号： GT4

产品介绍： GT4是一款基于ArF浸没式光刻光源GT6平台，具备高功能扩展性的机型。通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。

性能特点： 

模块寿命延长技术

降低维护频率

提高生产率

减轻环境负荷

可选功能与配件： 

可以搭载GT6可使用的功能和技术

技术参数： 

产地：日本

发射波长：193 nm

平均输出功率：45 – 90 W

脉冲能量：11.25 – 15 mJ

发射频率：4,000 – 6,000 Hz

光谱幅度（以 95 %能量累计，E95,）：≤0.5 pm

数据采集：监控的方式

输出方式：晶圆输出

光谱带宽：可变化

光谱宽度：稳定

产品应用： 

半导体工业