Meiritz-主动气动悬架系统-MRZ-200

产品型号：MRZ-200

产品介绍：迄今为止，我们积累的知识已生产出 600 多种类型的被动隔振器。对我们的主动隔振器的需求也在不断增长，尤其是在半导体等高精度制造。以MAPS系列为基础，开发出高性能合理的主动气动悬架系统MRZ系列。可应用于半导体设备、电子显微镜、测量机等。

性能特点：

每个单元有两个气压执行器：垂直和水平，可以体验良好的隔振、准确定位性能。

FB+FloorFF控制。

实现轻巧紧凑，省电，价格合理。

参数：

产地:日本

供给气压:0.6～0.8(洁净干燥空气)MPa

典型耗气量:45-65l/min

较大耗气量:120l/min

电源电压:100～240(单相交流电，50/60Hz)V

较大功耗:120VA

环境温度:0～40℃

相对湿度:35-85%RH

隔振方式:通过气压控制隔振

控制器尺寸:W435xD300xH118mm

控制器质量:7.5kg