CDE-四点探针电阻仪-ResMap 178

产品型号：ResMap 178

产品介绍：CDE 的成立旨在为半导体及相关开发和制造高性能、高性价比的晶圆计量工具。CDE ResMap是一系列适用于各种应用的自动电阻率测绘系统。4点探针测量工具是一种仪器，用于测量导电介质（通常是半导体应用的薄膜）中的薄层电阻（或Rs）。ResMap Model 178已成为成本效益电阻率测量的行业标准。该四点探针旨在满足工艺开发和工具表征工程师的需求，具有所需的准确性、可重复性和可靠性。其庞大的安装群证明了其性能、易用性和低拥有成本。

性能特点：

可靠性

易用性

参数：

产地：美国

晶片处理：手动装载

晶圆尺寸：2英寸至8英寸

尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸

精度：<±0.5%

重复性：0.02%静态，0.1%动态

较小边缘排除：<1.5mm

是否进口：是

封装：厂家制定

性能：良好

可靠性：高